የሲሊኮን-ኦን-ኢንሱለር ማምረቻ ሂደት

SOI (ሲሊኮን-ኦን-ኢንሱለር) ዋፈርዎችበሙቀት መከላከያ ኦክሳይድ ንብርብር ላይ የተገነባ እጅግ በጣም ቀጭን የሲሊኮን ንብርብር ያለው ልዩ የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስን ይወክላሉ። ይህ ልዩ የሳንድዊች መዋቅር ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ጉልህ የሆነ የአፈጻጸም ማሻሻያዎችን ያቀርባል።

የመዋቅር ቅንብር፡

የመሣሪያ ንብርብር (ከፍተኛ ሲሊከን):
ከበርካታ ናኖሜትሮች እስከ ማይክሮሜትሮች የሚደርስ ውፍረት፣ ለትራንዚስተር ማምረቻ እንደ ንቁ ንብርብር ሆኖ ያገለግላል።

የተቀበረ የኦክሳይድ ንብርብር (ሣጥን):
የመሳሪያውን ንብርብር ከንጥረ ነገር በኤሌክትሪክ የሚያገልል የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ መከላከያ ንብርብር (0.05-15μm ውፍረት)።

የመሠረት ንጣፍ፡
ጅምላ ሲሊከን (ከ100-500 μm ውፍረት) ለሜካኒካል ድጋፍ ይሰጣል።

በዝግጅት ሂደት ቴክኖሎጂ መሠረት፣ የSOI ሲሊከን ዋፈሮች ዋና ዋና የሂደት መንገዶች እንደሚከተለው ሊመደቡ ይችላሉ፡ SIMOX (የኦክስጅን መርፌ ማግለል ቴክኖሎጂ)፣ BESOI (የማሰሪያ ቀጭን ቴክኖሎጂ) እና ስማርት ኩት (ብልህ የማውጣት ቴክኖሎጂ)።

ሲሞክስ (የኦክስጅን መርፌ ማግለል ቴክኖሎጂ) ከፍተኛ ኃይል ያላቸውን የኦክስጅን አየኖች ወደ ሲሊከን ዋፈር ውስጥ በማስገባት የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ የተከተተ ንብርብር ይፈጥራል፣ ከዚያም የላቲስ ጉድለቶችን ለመጠገን ለከፍተኛ ሙቀት ማጠንከሪያ ይጋለጣል። ኮር የተቀበረ የንብርብር ኦክስጅን ለመፍጠር ቀጥተኛ የአዮን ኦክስጅን መርፌ ነው።

ቤሶአይ (የማሰሪያ ቀጫጭን ቴክኖሎጂ) ሁለት የሲሊኮን ዋፈርዎችን ማያያዝ እና ከዚያም አንዱን በሜካኒካል መፍጨት እና በኬሚካል ቅርፊት ማቅላትን ያካትታል፤ ይህም የSOI መዋቅር ይፈጥራል። እምብርቱ በማያያዝ እና በማቅለል ላይ ነው።

ስማርት ኩት (Intelligent Exfoliation ቴክኖሎጂ) በሃይድሮጂን አዮን መርፌ አማካኝነት የንጣፍ ሽፋን ይፈጥራል። ከተጣመረ በኋላ፣ በሃይድሮጂን አዮን ንብርብር ላይ ያለውን የሲሊኮን ዋፈር ለማራገፍ የሙቀት ሕክምና ይካሄዳል፣ ይህም እጅግ በጣም ቀጭን የሲሊኮን ንብርብር ይፈጥራል። ኮር የሃይድሮጂን መርፌ ማስወገጃ ነው።

በአሁኑ ጊዜ፣ ሲናኦ በሲናኦ የተገነባው ሲምቦንድ (የኦክስጅን መርፌ ትስስር ቴክኖሎጂ) የሚባል ሌላ ቴክኖሎጂ አለ። እንደ እውነቱ ከሆነ፣ የኦክስጅን መርፌ ማግለል እና የማጣበቂያ ቴክኖሎጂዎችን የሚያጣምር መንገድ ነው። በዚህ ቴክኒካል መንገድ፣ የተወጋው ኦክስጅን እንደ ቀጭን መከላከያ ንብርብር ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና ትክክለኛው የተቀበረው የኦክስጅን ንብርብር የሙቀት ኦክሳይድ ንብርብር ነው። ስለዚህ፣ እንደ የላይኛው ሲሊከን ወጥነት እና የተቀበረው የኦክስጅን ንብርብር ጥራት ያሉ መለኪያዎችን በአንድ ጊዜ ያሻሽላል።

በተለያዩ የቴክኒክ መስመሮች የተመረቱ የSOI ሲሊከን ዋፈሮች የተለያዩ የአፈጻጸም መለኪያዎች አሏቸው እና ለተለያዩ የአጠቃቀም ሁኔታዎች ተስማሚ ናቸው።

የሚከተለው የSOI ሲሊከን ዋፈሮች ዋና የአፈጻጸም ጥቅሞች ከቴክኒካዊ ባህሪያቸው እና ከትክክለኛው የአተገባበር ሁኔታዎች ጋር ተዳምሮ የማጠቃለያ ሰንጠረዥ ነው። ከባህላዊው የጅምላ ሲሊከን ጋር ሲነጻጸር SOI በፍጥነት እና በሃይል ፍጆታ ሚዛን ረገድ ጉልህ ጥቅሞች አሉት። (PS: የ22nm FD-SOI አፈጻጸም ከFinFET ጋር ተመሳሳይ ነው፣ እና ወጪው በ30% ቀንሷል)

ለማጠቃለል ያህል፣ የSOI ዋና ዋና ጥቅሞች፡ በፍጥነት ይሰራል እና የበለጠ ኃይል ቆጣቢ ነው።

በእነዚህ የSOI የአፈጻጸም ባህሪያት ምክንያት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የድግግሞሽ አፈጻጸም እና የኃይል ፍጆታ አፈፃፀም የሚያስፈልጋቸው መስኮች ላይ ሰፊ አፕሊኬሽኖች አሉት።

ከዚህ በታች እንደሚታየው፣ ከSOI ጋር በሚዛመዱ የማመልከቻ መስኮች መጠን ላይ በመመስረት፣ RF እና የኃይል መሳሪያዎች የSOI ገበያን አብዛኛውን እንደሚይዙ ማየት ይቻላል።

እንደ ሞባይል ኮሙኒኬሽን እና በራስ ገዝ መንዳት ያሉ ገበያዎች እያደጉ በመምጣታቸው፣ የSOI ሲሊከን ዋፈሮች የተወሰነ የእድገት መጠን እንዲጠብቁ ይጠበቃል።

XKH፣ በሲሊኮን-ኦን-ኢንሱለር (SOI) ዋፈር ቴክኖሎጂ ውስጥ ግንባር ቀደም ፈጣሪ እንደመሆኑ መጠን፣ ከምርምር እና ልማት እስከ መጠን ምርት ድረስ አጠቃላይ የSOI መፍትሄዎችን በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆኑ የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶችን በመጠቀም ያቀርባል። የእኛ ሙሉ ፖርትፎሊዮ 200ሚሜ/300ሚሜ የSOI ዋፈሮችን በRF-SOI፣ በፓወር-SOI እና FD-SOI ልዩነቶችን የሚሸፍኑ ሲሆን፣ ልዩ የሆነ የአፈጻጸም ወጥነት (ውፍረት በ ±1.5% ውስጥ) የሚያረጋግጥ ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር አለው። ከ50nm እስከ 1.5μm የሚደርስ የተቀበረ ኦክሳይድ (BOX) ንብርብር ውፍረት እና የተወሰኑ መስፈርቶችን ለማሟላት የተለያዩ የመቋቋም መስፈርቶችን ያሏቸው ብጁ መፍትሄዎችን እናቀርባለን። የ15 ዓመታት የቴክኒክ እውቀት እና ጠንካራ ዓለም አቀፍ የአቅርቦት ሰንሰለትን በመጠቀም፣ በዓለም ዙሪያ ላሉ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው የSEI ንጣፎችን በአስተማማኝ ሁኔታ እናቀርባለን፣ ይህም በ5ጂ ግንኙነቶች፣ በአውቶሞቲቭ ኤሌክትሮኒክስ እና በአርቴፊሻል ኢንተለጀንስ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ዘመናዊ የቺፕ ፈጠራዎችን ያስችላል።

ኤክስኬኤች'የ SOI ዋፈሮች፡