100ሚሜ 4ኢንች ጋኤን በ Sapphire Epi-Layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer ላይ

(1) ከፍተኛ ሙቀት መጋገር, ሰንፔር substrate በመጀመሪያ ሃይድሮጂን ከባቢ አየር ውስጥ 1050 ℃, ዓላማው substrate ወለል ለማጽዳት ነው;

(2) የከርሰ ምድር ሙቀት ወደ 510 ℃ ሲወርድ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው የጋኤን/አልኤን ቋት ከ 30nm ውፍረት ጋር በሰንፔር ወለል ላይ ይቀመጣል።

(3) የሙቀት መጠን ወደ 10 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ከፍ ይላል ፣ የምላሽ ጋዝ አሞኒያ ፣ ትሪሜቲልጋሊየም እና ሲላን በመርፌ ይከተላሉ ፣ በቅደም ተከተል የሚዛመደውን ፍሰት መጠን ይቆጣጠራሉ ፣ እና የ 4um ውፍረት ያለው የሲሊኮን-ዶፔድ N-አይነት ጋኤን ያድጋል።

(4) የትሪሜቲል አልሙኒየም እና ትሪሜቲል ጋሊየም ምላሽ ጋዝ በሲሊኮን-ዶፕድ N-አይነት A- አህጉራት ከ 0.15um ውፍረት ጋር ለማዘጋጀት ጥቅም ላይ ውሏል;

(5) 50nm Zn-doped InGaN የተዘጋጀው በ8O0℃ የሙቀት መጠን ትሪሜቲልጋሊየም፣ ትሪሜቲልዲየም፣ዲኢቲልዚንክ እና አሞኒያ በመርፌ እና የተለያዩ የፍሰት መጠኖችን በቅደም ተከተል በመቆጣጠር ነው።

(6) የሙቀት መጠኑ ወደ 1020 ℃ ጨምሯል ፣ trimethylaluminum ፣ trimethylgallium እና bis (cyclopentadienyl) ማግኒዥየም 0.15um Mg doped P-type AlGaN እና 0.5um Mg doped P-type G የደም ግሉኮስ ለማዘጋጀት ተወስደዋል ።

(7) ከፍተኛ ጥራት ያለው ፒ-አይነት የጋኤን ሲቡያን ፊልም የተገኘው በናይትሮጅን ከባቢ አየር ውስጥ በ 700 ℃ ውስጥ በማጽዳት;

(8) የ N-type G stasis ወለልን ለመግለጥ በ P-type G stasis ወለል ላይ ማሳከክ;

(9) በp-GaNI ወለል ላይ የኒ/አው መገናኛ ሰሌዳዎች ትነት፣ በኤል-ጋኤን ላይ ያሉ △/አል የእውቂያ ሰሌዳዎች ኤሌክትሮዶች እንዲፈጠሩ።