150ሚሜ 200ሚሜ 6ኢንች 8ኢንች ጋኤን በሲሊኮን ኤፒ-ንብርብር ዋፈር ጋሊየም ናይትራይድ ኤፒታክሲያል ዋፈር ላይ
የማምረት ዘዴ
የማምረት ሂደቱ እንደ ብረት-ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ ትነት ማስቀመጫ (MOCVD) ወይም ሞለኪውላር ጨረር ኤፒታክሲ (MBE) ያሉ የላቁ ቴክኒኮችን በመጠቀም የጋኤን ንብርብሮችን በሰንፔር ንጣፍ ላይ ማደግን ያካትታል።ከፍተኛ ክሪስታል ጥራት ያለው እና ወጥ የሆነ ፊልም ለማረጋገጥ የማስቀመጫ ሂደቱ በተቆጣጠሩት ሁኔታዎች ውስጥ ይካሄዳል.
6ኢንች GaN-On-Sapphire አፕሊኬሽኖች፡ ባለ 6-ኢንች ሰንፔር substrate ቺፖች በማይክሮዌቭ ግንኙነቶች፣ ራዳር ሲስተሞች፣ ሽቦ አልባ ቴክኖሎጂ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።
አንዳንድ የተለመዱ መተግበሪያዎች ያካትታሉ
1. Rf የኃይል ማጉያ
2. የ LED ብርሃን ኢንዱስትሪ
3. የገመድ አልባ አውታር የመገናኛ መሳሪያዎች
4. የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች በከፍተኛ ሙቀት አካባቢ
5. ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች
የምርት ዝርዝሮች
- መጠን: የ substrate ዲያሜትር 6 ኢንች (ገደማ 150 ሚሜ) ነው.
- የገጽታ ጥራት፡- እጅግ በጣም ጥሩ የመስታወት ጥራትን ለማቅረብ መሬቱ በጥሩ ሁኔታ ተወልዷል።
- ውፍረት: የጋን ንብርብር ውፍረት በተወሰኑ መስፈርቶች መሰረት ሊበጅ ይችላል.
- ማሸግ: በመጓጓዣ ጊዜ ጉዳት እንዳይደርስ ለመከላከል ንጣፉ በጥንቃቄ በፀረ-ስታቲክ ቁሳቁሶች የተሞላ ነው.
- የአቀማመጥ ጠርዞች: ንጣፉ በመሳሪያው ዝግጅት ወቅት አሰላለፍ እና ቀዶ ጥገናን የሚያመቻቹ ልዩ የአቀማመጥ ጠርዞች አሉት.
- ሌሎች መመዘኛዎች፡- እንደ ቀጭንነት፣ ተከላካይነት እና የዶፒንግ ትኩረትን የመሳሰሉ ልዩ መለኪያዎች በደንበኞች ፍላጎት መሰረት ሊስተካከሉ ይችላሉ።
የላቁ የቁሳቁስ ባህሪያት እና የተለያዩ አፕሊኬሽኖች ባለ 6-ኢንች ሰንፔር substrate wafers በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ለማምረት አስተማማኝ ምርጫ ነው።
| Substrate | 6" 1 ሚሜ <111> p-type Si | 6" 1 ሚሜ <111> p-type Si |
| Epi ThickAvg | ~5 | ~7 |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| ቀስት | +/-45um | +/-45um |
| መሰንጠቅ | <5ሚሜ | <5ሚሜ |
| አቀባዊ BV | > 1000 ቪ | > 1400 ቪ |
| HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
| HEMT ThickAvg | 20-30 nm | 20-30 nm |
| ኢንስቲቱ የሲኤን ካፕ | 5-60 nm | 5-60 nm |
| 2DEG conc | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| ተንቀሳቃሽነት | ~ 2000 ሴ.ሜ2/Vs (<2%) | ~ 2000 ሴ.ሜ2/Vs (<2%) |
| Rsh | <330ohm/ስኩዌር (<2%) | <330ohm/ስኩዌር (<2%) |
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
