6ኢንች HPSI SiC substrate wafer ሲሊከን ካርቦይድ ከፊል ስድብ የሲሲ ዋይፎች

6ኢንች HPSI SiC substrate wafer ሲሊኮን ካርቦይድ ከፊል ዘለፋ የሲሲ ዋይፎች ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

ከፍተኛ ጥራት ያለው ነጠላ ክሪስታል ሲሲ ዋይፈር (ሲሊኮን ካርቦይድ ከ SICC) ወደ ኤሌክትሮኒክስ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክ ኢንዱስትሪ። 3ኢንች ሲሲ ዋይፈር የሚቀጥለው ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ፣ ከፊል የማያስተላልፍ የሲሊኮን-ካርቦይድ ዋፈር የ3 ኢንች ዲያሜትር ነው። ዋፍሮቹ ለኃይል, ለ RF እና ለኦፕቶኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ለማምረት የታቀዱ ናቸው.

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

የ PVT ሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል ሲሲ የእድገት ቴክኖሎጂ

ለሲሲ ነጠላ ክሪስታል አሁን ያሉት የእድገት ዘዴዎች በዋናነት የሚከተሉትን ሶስት ያካትታሉ፡ ፈሳሽ ዙር ዘዴ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ዘዴ እና የአካላዊ የእንፋሎት ደረጃ ትራንስፖርት (PVT) ዘዴ። ከነሱ መካከል የ PVT ዘዴ ለሲሲ ነጠላ ክሪስታል እድገት በጣም የተመራመረ እና የበሰለ ቴክኖሎጂ ነው ፣ እና ቴክኒካዊ ችግሮቹ የሚከተሉት ናቸው ።

(1) "ጠንካራ - ጋዝ - ጠንካራ" ልወጣ recrystallisation ሂደት ለማጠናቀቅ ዝግ ግራፋይት ክፍል በላይ 2300 ° ሴ ከፍተኛ ሙቀት ውስጥ SiC ነጠላ ክሪስታል, እድገት ዑደት ረጅም, ለመቆጣጠር አስቸጋሪ ነው, እና microtubules, inclusions እና የተጋለጠ ነው. ሌሎች ጉድለቶች.

(2) ሲሊኮን ካርቦዳይድ ነጠላ ክሪስታል ከ 200 በላይ የተለያዩ ክሪስታል ዓይነቶችን ጨምሮ ፣ ግን አጠቃላይ አንድ ክሪስታል ዓይነት ማምረት ፣ በእድገት ሂደት ውስጥ ክሪስታል ዓይነት ለውጥን ለማምረት ቀላል የሆነ የብዝሃ-ዓይነት መካተት ጉድለቶች ፣ የአንድ ነጠላ ዝግጅት ሂደት። የተወሰነ ክሪስታል ዓይነት የሂደቱን መረጋጋት ለመቆጣጠር አስቸጋሪ ነው, ለምሳሌ, የአሁኑን የ 4H-ዓይነት ዋና ፍሰት.

(3) የሲሊኮን ካርቦዳይድ ነጠላ ክሪስታል የእድገት ሙቀት መስክ የሙቀት ቅልጥፍና አለ, በዚህም ምክንያት ክሪስታል እድገት ሂደት ውስጣዊ ውስጣዊ ውጥረት እና የተከሰቱት መፈናቀሎች, ጉድለቶች እና ሌሎች ጉድለቶች ናቸው.

(4) ሲሊከን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል እድገት ሂደት በጣም ከፍተኛ ንፅህና ከፊል-ማስገቢያ ክሪስታል ወይም በአቅጣጫ doped conductive ክሪስታል ለማግኘት, የውጭ ከቆሻሻው ያለውን መግቢያ በጥብቅ መቆጣጠር ያስፈልገዋል. በ RF መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ለሚውሉት ከፊል-ኢንሱላር የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች, የኤሌክትሪክ ባህሪያቱ በጣም ዝቅተኛ የንጽሕና ክምችት እና በክሪስታል ውስጥ ያሉ ልዩ የነጥብ ጉድለቶችን በመቆጣጠር ማግኘት ያስፈልጋል.