LiTaO3 ዋፈር 2 ኢንች-8 ኢንች 10x10x0.5 ሚሜ 1sp 2sp ለ 5G/6G ኮሙኒኬሽን
ቴክኒካዊ መለኪያዎች
| ስም | የኦፕቲካል ደረጃ LiTaO3 | የድምፅ ሰንጠረዥ ደረጃ LiTaO3 |
| አክሰል | Z ቁረጥ + / - 0.2 ° | 36° Y ቁረጥ / 42° Y ቁረጥ / X ቁረጥ (+ / - 0.2 °) |
| ዲያሜትር | 76.2ሚሜ + / - 0.3ሚሜ/ 100±0.2ሚሜ | 76.2ሚሜ + /-0.3ሚሜ 100ሚሜ + /-0.3ሚሜ 0r 150±0.5ሚሜ |
| ዳተም ፕላን | 22ሚሜ + / - 2ሚሜ | 22ሚሜ +/-2ሚሜ 32ሚሜ +/-2ሚሜ |
| ውፍረት | 500um +/-5 ሚሜ 1000um + /-5 ሚሜ | 500um + /-20ሚሜ 350um +/-20ሚሜ |
| ቲቲቪ | ≤ 10um | ≤ 10um |
| የኩሪ ሙቀት | 605°ሴ + / - 0.7°ሴ (DTAmethod) | 605°ሴ + / -3°ሴ (DTAmethod) |
| የወለል ጥራት | ባለ ሁለት ጎን ፖሊሽ | ባለ ሁለት ጎን ፖሊሽ |
| የተሸፈኑ ጠርዞች | የጠርዝ ክብ | የጠርዝ ክብ |
ቁልፍ ባህሪያት
1. የኤሌክትሪክ እና የኦፕቲካል አፈጻጸም
· ኤሌክትሮ-ኦፕቲክ ኮፊሸንት፡ r33 ከLiNbO3 በ1.5× ከፍ ያለ ሲሆን እጅግ ሰፊ ባንድ ኤሌክትሮ-ኦፕቲክ ሞዱሌሽን (>40 GHz ባንድዊድዝ) ያስችላል።
· ሰፊ የስፔክትራል ምላሽ፡ የማስተላለፊያ ክልል ከ0.4–5.0 μm (8 ሚሜ ውፍረት)፣ የአልትራቫዮሌት መምጠጥ ጠርዝ እስከ 280 nm ዝቅተኛ ሲሆን፣ ለ UV ሌዘር እና ለኳንተም ዶት መሳሪያዎች ተስማሚ።
· ዝቅተኛ የፒሮኤሌክትሪክ ኮፊሸንት፡ dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)፣ ይህም በከፍተኛ ሙቀት ኢንፍራሬድ ዳሳሾች ውስጥ መረጋጋትን ያረጋግጣል።
2. የሙቀት እና የሜካኒካል ባህሪያት
· ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፡ 4.6 W/m·K (X-cut)፣ የኳርትዝ አራት እጥፍ፣ ዘላቂ -200–500°C የሙቀት ዑደት።
· ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C)፣ የሙቀት ጭንቀትን ለመቀነስ ከሲሊኮን ማሸጊያ ጋር ተኳሃኝ።
3. የቁጥጥር እና የሂደት ትክክለኛነት ጉድለት
· የማይክሮፓይፕ ጥግግት፡ <0.1 ሴሜ⁻² (8-ኢንች ዋፈርስ)፣ የመፈናቀል ጥግግት <500 ሴሜ⁻² (በKOH ቅርፊት በኩል የተረጋገጠ)።
· የገጽታ ጥራት፡ እስከ <0.5 nm ድረስ በCMP የተወለወለ፣ የEUV ሊቶግራፊ ደረጃ ጠፍጣፋነት መስፈርቶችን ያሟላል።
ቁልፍ አፕሊኬሽኖች
| ዶሜይን | የትግበራ ሁኔታዎች | የቴክኒክ ጥቅሞች |
| የኦፕቲካል ኮሙኒኬሽንስ | 100G/400G DWDM ሌዘሮች፣ የሲሊኮን ፎቶኒክስ ድብልቅ ሞጁሎች | የLiTaO3 ዋፈር ሰፊ የስፔክትራል ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የሞገድ መሪ ኪሳራ (α <0.1 dB/cm) የC-ባንድ መስፋፋትን ያስችላሉ። |
| የ5ጂ/6ጂ ኮሙኒኬሽን | የSAW ማጣሪያዎች (1.8–3.5 ጊኸ)፣ የBAW-SMR ማጣሪያዎች | 42°Y-የተቆረጡ ዋፈሮች Kt² >15% ያደርሳሉ፣ ዝቅተኛ የማስገባት ኪሳራ (<1.5 dB) እና ከፍተኛ ጥቅልል-ኦፍ (>30 dB) ያስገኛሉ። |
| የኳንተም ቴክኖሎጂዎች | ነጠላ-ፎቶን መመርመሪያዎች፣ የፓራሜትሪክ ወደታች የመቀየር ምንጮች | ከፍተኛ መስመራዊ ያልሆነ ኮፊሸንት (χ(2)=40 ፒኤም/V) እና ዝቅተኛ የጨለማ ቆጠራ መጠን (<100 ቆጠራ/ሰ) የኳንተም ታማኝነትን ያሻሽላሉ። |
| የኢንዱስትሪ ሴንሲንግ | ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የግፊት ዳሳሾች፣ የአሁኑ ትራንስፎርመሮች | የሊታኦ3 ዋፈር የፒኢዞኤሌክትሪክ ምላሽ (g33 >20 mV/m2) እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቻቻል (>400°ሴ) ለከፍተኛ አካባቢዎች ተስማሚ ናቸው። |
የXKH አገልግሎቶች
1. ብጁ የዋፈር ማምረቻ
· መጠን እና መቁረጥ፡ ከ2-8 ኢንች ዋፈርስ ከX/Y/Z-cut፣ 42°Y-cut፣ እና ብጁ አንግል መቁረጫዎች (±0.01° መቻቻል) ጋር።
· የዶፒንግ ቁጥጥር፡ የኤሌክትሮ-ኦፕቲክ ኮፊሸንቶችን እና የሙቀት መረጋጋትን ለማመቻቸት Fe፣ Mg ዶፒንግ በCzochralski ዘዴ (የማጎሪያ ክልል 10¹⁶–10¹⁹ ሴሜ⁻³)።
2. የላቀ የሂደት ቴክኖሎጂዎች
.
· ወቅታዊ የፖሊንግ (PPLT): ለLTOI ዋፈሮች ስማርት-ቁመት ቴክኖሎጂ፣ ±10 nm የጎራ ጊዜ ትክክለኛነትን እና የኳሲ-ደረጃ-ተዛማጅ (QPM) የድግግሞሽ ልወጣን ያስገኛል።
· የተለያዩ ውህዶች፡- ለከፍተኛ ድግግሞሽ SAW ማጣሪያዎች ውፍረት መቆጣጠሪያ (300–600 nm) እና እስከ 8.78 W/m·K የሙቀት ማስተላለፊያ ያለው በሲ-ተኮር LiTaO3 የተዋሃዱ ዋፈሮች (POI)።
3. የጥራት አስተዳደር ስርዓቶች
.
· ከጫፍ እስከ ጫፍ የሚደረግ ምርመራ፡ የራማን ስፔክትሮስኮፒ (ፖሊታይፕ ማረጋገጫ)፣ XRD (ክሪስታሊኒቲ)፣ AFM (የገጽታ ሞርፎሎጂ) እና የኦፕቲካል ተመሳሳይነት ሙከራ (Δn <5×10⁻⁵)።
4. ዓለም አቀፍ የአቅርቦት ሰንሰለት ድጋፍ
.
· የማምረት አቅም፡- ወርሃዊ ምርት >5,000 ዋፈር (8 ኢንች፡ 70%)፣ እና ለ48 ሰዓታት የሚቆይ የአደጋ ጊዜ አቅርቦት።
· የሎጂስቲክስ ኔትወርክ፡- በአውሮፓ፣ በሰሜን አሜሪካ እና በእስያ-ፓስፊክ በአየር/በባህር ጭነት አማካኝነት የሙቀት ቁጥጥር የሚደረግበት ማሸጊያ።
