ኤልቲ ሊቲየም ታንታሌት (ሊታኦ3) ክሪስታል 2 ኢንች/3 ኢንች/4 ኢንች/6 ኢንች ኦሬንቴይተን Y-42°/36°/108° ውፍረት 250-500um

ኤልቲ ሊቲየም ታንታሌት (ሊታኦ3) ክሪስታል 2 ኢንች/3 ኢንች/4 ኢንች/6 ኢንች ኦሬንቴይተን Y-42°/36°/108° ውፍረት 250-500 ማይክሮን ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡

የሊታኦ₃ ዋፈርዎች ወሳኝ የሆነ የፒኢዞኤሌክትሪክ እና የፌሮኤሌክትሪክ ቁስ ስርዓትን ይወክላሉ፣ ልዩ የሆኑ የፒኢዞኤሌክትሪክ ኮፊሸንቶችን፣ የሙቀት መረጋጋትን እና የኦፕቲካል ባህሪያትን ያሳያሉ፣ ይህም ለገጽታ አኮስቲክ ሞገድ (SAW) ማጣሪያዎች፣ ለጅምላ አኮስቲክ ሞገድ (BAW) ሬዞናተሮች፣ ለኦፕቲካል ሞዱለሮች እና ለኢንፍራሬድ መመርመሪያዎች አስፈላጊ ያደርጋቸዋል። XKH ከፍተኛ ጥራት ባለው የሊታኦ₃ ዋፈር ምርምር እና ልማት ላይ ያተኮረ ሲሆን፣ የላቀ የCzochralski (CZ) ክሪስታል እድገት እና የፈሳሽ ደረጃ ኤፒታክሲ (LPE) ሂደቶችን በመጠቀም ከ100/ሴሜ² ጉድለት ጋር የላቀ ክሪስታሊን ተመሳሳይነት እንዲኖር ያደርጋል።

XKH የተለያዩ የክሪስታሎግራፊክ አቅጣጫዎችን (X-cut፣ Y-cut፣ Z-cut) ያላቸውን ባለ 3 ኢንች፣ ባለ 4 ኢንች እና ባለ 6 ኢንች LiTaO₃ ዋፈርዎችን ያቀርባል፣ ይህም ብጁ ዶፒንግ (Mg፣ Zn) እና የፖሊንግ ህክምናዎችን የሚደግፍ ነው። የቁሳቁሱ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ (ε~40-50)፣ የፒኢዞኤሌክትሪክ ኮፊሸንት (d₃₃~8-10 pC/N) እና የኩሪ ሙቀት (~600°C) ለከፍተኛ ድግግሞሽ ማጣሪያዎች እና ለትክክለኛ ዳሳሾች ተመራጭ የሆነ ንጥረ ነገር አድርገው ያስቀምጣሉ።

በአቀባዊ የተዋሃደ የማምረቻ ሂደታችን የክሪስታል እድገትን፣ ዋፌርን፣ ፖሊሽንግ እና ቀጭን ፊልም ማከማቻን የሚሸፍን ሲሆን ወርሃዊ የማምረት አቅሙ 5ጂ ኮሙኒኬሽን፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ፣ የፎቶኒክስ እና የመከላከያ ኢንዱስትሪዎችን ለማገልገል ከ3,000 ዋፈር በላይ ነው። የተመቻቹ የLiTaO₃ መፍትሄዎችን ለማቅረብ ሁሉን አቀፍ የቴክኒክ ምክር፣ የናሙና ባህሪ እና ዝቅተኛ መጠን ያላቸው የፕሮቶታይፕ አገልግሎቶችን እናቀርባለን።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ቴክኒካዊ መለኪያዎች

ስም	የኦፕቲካል ደረጃ LiTaO3	የድምፅ ሰንጠረዥ ደረጃ LiTaO3
አክሰል	Z ቁረጥ + / - 0.2 °	36° Y ቁረጥ / 42° Y ቁረጥ / X ቁረጥ(+ / - 0.2 °)
ዲያሜትር	76.2ሚሜ + / - 0.3ሚሜ/100±0.2ሚሜ	76.2ሚሜ + /-0.3ሚሜ100ሚሜ + /-0.3ሚሜ 0r 150±0.5ሚሜ
ዳተም ፕላን	22ሚሜ + / - 2ሚሜ	22ሚሜ +/-2ሚሜ32ሚሜ +/-2ሚሜ
ውፍረት	500um +/-5 ሚሜ1000um + /-5 ሚሜ	500um + /-20ሚሜ350um +/-20ሚሜ
ቲቲቪ	≤ 10um	≤ 10um
የኩሪ ሙቀት	605°ሴ + / - 0.7°ሴ (DTAmethod)	605°ሴ + / -3°ሴ (DTAmethod)
የወለል ጥራት	ባለ ሁለት ጎን ፖሊሽ	ባለ ሁለት ጎን ፖሊሽ
የተሸፈኑ ጠርዞች	የጠርዝ ክብ	የጠርዝ ክብ

ቁልፍ ባህሪያት

1. የክሪስታል መዋቅር እና የኤሌክትሪክ አፈፃፀም

· የክሪስታሎግራፊክ መረጋጋት፡ 100% 4H-SiC ፖሊታይፕ የበላይነት፣ ዜሮ ባለብዙ ክሪስታሊን ማካተት (ለምሳሌ፣ 6H/15R)፣ የXRD የሚንቀጠቀጥ ኩርባ በግማሽ-ከፍተኛ (FWHM) ≤32.7 arcsec ሙሉ ስፋት አለው።
· ከፍተኛ ተሸካሚ ተንቀሳቃሽነት፡ የኤሌክትሮን ተንቀሳቃሽነት 5,400 ሴ.ሜ²/ቪ·s (4H-SiC) እና የ380 ሴ.ሜ²/ቪ·s የቀዳዳ ተንቀሳቃሽነት፣ ይህም ከፍተኛ ድግግሞሽ ያላቸውን የመሳሪያዎች ዲዛይኖች ያስችላል።
·የጨረር ጥንካሬ፡- 1×10¹⁵ n/cm² የሆነ የመፈናቀል ጉዳት ገደብ ያለው 1 MeV የኒውትሮን ጨረርን ይቋቋማል፣ ይህም ለበረራ እና ለኑክሌር አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው።

2. የሙቀት እና የሜካኒካል ባህሪያት

· ልዩ የሙቀት ማስተላለፊያ፡ 4.9 W/cm·K (4H-SiC)፣ የሲሊኮን ሶስት እጥፍ፣ ከ200°ሴ በላይ የሚሰራ ስራን ይደግፋል።
· ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ የ4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE፣ ከሲሊኮን ላይ የተመሰረተ ማሸጊያ ጋር ተኳሃኝነትን ያረጋግጣል እና የሙቀት ጭንቀትን ይቀንሳል።

3. የቁጥጥር እና የሂደት ትክክለኛነት ጉድለት
.
· የማይክሮፓይፕ ጥግግት፡ <0.3 ሴ.ሜ⁻² (8-ኢንች ዋፈርስ)፣ የመፈናቀል ጥግግት <1,000 ሴ.ሜ⁻² (በKOH ቅርፊት በኩል የተረጋገጠ)።
· የገጽታ ጥራት፡ እስከ <0.2 nm ድረስ በCMP የተወለወለ፣ የEUV ሊቶግራፊ ደረጃ ጠፍጣፋነት መስፈርቶችን ያሟላል።

ቁልፍ አፕሊኬሽኖች

ጎራ	የትግበራ ሁኔታዎች	የቴክኒክ ጥቅሞች
የኦፕቲካል ኮሙኒኬሽንስ	100G/400G ሌዘሮች፣ የሲሊኮን ፎተኒክስ ድብልቅ ሞጁሎች	የኢንፒ ዘር ንጣፎች ቀጥተኛ ባንድ ክፍተት (1.34 eV) እና በሲ ላይ የተመሠረተ ሄትሮኢፒታክሲን ያስችላሉ፣ ይህም የኦፕቲካል ኮኔክሽን ብክነትን ይቀንሳል።
አዳዲስ የኃይል ተሽከርካሪዎች	800 ቮልት ከፍተኛ ቮልቴጅ ኢንቨርተሮች፣ አብሮገነብ ቻርጀሮች (OBC)	4H-SiC ንጣፎች ከ1,200 V በላይ ይቋቋማሉ፣ የኮንዳክሽን ብክነትን በ50% እና የስርዓት መጠን በ40% ይቀንሳል።
የ5ጂ ኮሙኒኬሽንስ	ሚሊሜትር-ሞገድ አርኤፍ መሳሪያዎች (PA/LNA)፣ የመሠረት ጣቢያ የኃይል ማጉያዎች	ከፊል-ኢንሱሌሽንድ ሲሲ ንጣፎች (ከ10⁵ Ω·cm በላይ) ከፍተኛ-ድግግሞሽ (60 GHz+) ተገብሮ ውህደትን ያስችላሉ።
የኢንዱስትሪ መሳሪያዎች	ከፍተኛ የሙቀት መጠን ዳሳሾች፣ የአሁኑ ትራንስፎርመሮች፣ የኑክሌር ሬአክተር መቆጣጠሪያዎች	የኢንኤስቢ ዘር ንጣፎች (0.17 eV ባንድጋፕ) እስከ 300% @10 T ድረስ የመግነጢሳዊ ትብነትን ይሰጣሉ።

ሊታኦ₃ ዋፈርስ - ቁልፍ ባህሪያት

1. የላቀ የፒዞኤሌክትሪክ አፈጻጸም

· ከፍተኛ የፒኢዞኤሌክትሪክ ኮፊሸንቶች (d₃₃~8-10 pC/N፣ K²~0.5%) ለ5ጂ RF ማጣሪያዎች <1.5dB የማስገቢያ መጥፋት ያለባቸው ከፍተኛ ድግግሞሽ ያላቸው የSAW/BAW መሳሪያዎችን ያስችላሉ

· እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሮሜካኒካል ትስስር ለንዑስ-6GHz እና mmWave አፕሊኬሽኖች ሰፊ-ባንድዊድዝ (≥5%) የማጣሪያ ዲዛይኖችን ይደግፋል

2. የኦፕቲካል ባህሪያት

· የብሮድባንድ ግልጽነት (ከ400-5000nm በላይ ከ70% ስርጭት) ለኤሌክትሮ-ኦፕቲክ ሞዱለሮች ከ40GHz ባንድዊድዝ በላይ

· ጠንካራ መስመራዊ ያልሆነ የኦፕቲካል ተጋላጭነት (χ⁽²⁾~30pm/V) በሌዘር ስርዓቶች ውስጥ ቀልጣፋ ሁለተኛ ሃርሞኒክ ትውልድ (SHG) ያመቻቻል

3. የአካባቢ መረጋጋት

· ከፍተኛ የኩሪ ሙቀት (600°ሴ) በአውቶሞቲቭ ደረጃ (-40°ሴ እስከ 150°ሴ) አካባቢዎች ውስጥ የፒኢዞኤሌክትሪክ ምላሽን ይጠብቃል

· በአሲድ/አልካላይስ (pH1-13) ላይ ያለው የኬሚካል አለመመጣጠን በኢንዱስትሪ ዳሳሽ አፕሊኬሽኖች ውስጥ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል

4. የማበጀት ችሎታዎች

· የአቅጣጫ ምህንድስና፡ ለተበጁ የፒዞኤሌክትሪክ ምላሾች X-cut (51°)፣ Y-cut (0°)፣ Z-cut (36°)

· የዶፒንግ አማራጮች፡- Mg-doped (የኦፕቲካል ጉዳት መቋቋም)፣ Zn-doped (የተሻሻለ d₃₃)

· የወለል አጨራረስ፡ ኤፒታክሲያል-ዝግጁ ፖሊሽንግ (Ra<0.5nm)፣ ITO/Au ሜታላይዜሽን

LiTaO₃ Wafers - ዋና አፕሊኬሽኖች

1. የ RF የፊት-መጨረሻ ሞጁሎች

· 5G NR SAW ማጣሪያዎች (ባንድ n77/n79) የሙቀት መጠን ድግግሞሽ (TCF) <|-15ppm/°C|

· ለዋይፋይ 6E/7 (5.925-7.125GHz) እጅግ በጣም ሰፊ ባንድ BAW ሬዞናተሮች

2. የተዋሃዱ ፎቶኒክስ

· ለተቀናጀ የኦፕቲካል ግንኙነቶች ከፍተኛ ፍጥነት ያላቸው የማክ-ዜህንድ ሞዱላተሮች (>100Gbps)

· ከ3-14μm የሚስተካከሉ የተቆረጡ የሞገድ ርዝመቶች ያላቸው የQWIP ኢንፍራሬድ መመርመሪያዎች

3. አውቶሞቲቭ ኤሌክትሮኒክስ

· ከ200 ኪኸኸት በላይ የአሠራር ድግግሞሽ ያላቸው የአልትራሳውንድ የመኪና ማቆሚያ ዳሳሾች

· የTPMS ፒኢዞኤሌክትሪክ ትራንስዱሰሮች ከ -40°ሴ እስከ 125°ሴ የሙቀት ዑደት ድረስ ይተርፋሉ

4. የመከላከያ ስርዓቶች

· ከ60dB በላይ ከባንድ ውጭ ውድቅ የሚያደርጉ የኢኢደብሊው ተቀባይ ማጣሪያዎች

· የሚሳኤል ፈላጊ IR መስኮቶች ከ3-5μm MWIR ጨረር የሚያስተላልፉ

5. አዳዲስ ቴክኖሎጂዎች

· ማይክሮዌቭ-ወደ-ኦፕቲካል ልወጣ ለማድረግ የኦፕቶሜካኒካል ኳንተም ትራንስዱሰሮች

· ለህክምና የአልትራሳውንድ ምስል የሚሆኑ የPMUT ድርድሮች (>20MHz ጥራት)

ሊታኦ₃ ዋፈርስ - XKH አገልግሎቶች

1. የአቅርቦት ሰንሰለት አስተዳደር

· ለመደበኛ ዝርዝሮች የ4-ሳምንት የእርሳስ ጊዜ ያለው የቦውል-ወደ-ዋፈር ማቀነባበሪያ

· ወጪን የሚያሟላ ምርት ከተፎካካሪዎች ጋር ሲነጻጸር ከ10-15% የዋጋ ጥቅም ያስገኛል

2. ብጁ መፍትሄዎች

· በአቅጣጫ-ተኮር ዋፌሪንግ፡ ለተሻለ የSAW አፈጻጸም 36°±0.5° Y-cut

· የተከተፉ ውህዶች፡ ለኦፕቲካል አፕሊኬሽኖች MgO (5mol%) ዶፒንግ

የብረታ ብረት አገልግሎቶች፡ Cr/Au (100/1000Å) ኤሌክትሮድ ፓተርኒንግ

3. የቴክኒክ ድጋፍ

· የቁሳቁስ መለያ፡ የXRD የሚንቀጠቀጡ ኩርባዎች (FWHM<0.01°)፣ የAFM ወለል ትንተና

· የመሣሪያ ማስመሰል፡ የ SAW ማጣሪያ ዲዛይን ማመቻቸትን ለማመቻቸት የ FEM ሞዴሊንግ

መደምደሚያ

የሊታኦ₃ ዋፈርስ በRF ኮሙኒኬሽን፣ በተቀናጁ ፎቶኒክስ እና በጠንካራ የአካባቢ ዳሳሾች ላይ የቴክኖሎጂ እድገቶችን ማስቻሉን ቀጥሏል። የXKH የቁሳቁስ እውቀት፣ የማምረቻ ትክክለኛነት እና የአተገባበር ምህንድስና ድጋፍ ደንበኞች በሚቀጥለው ትውልድ የኤሌክትሮኒክስ ስርዓቶች ውስጥ የዲዛይን ተግዳሮቶችን እንዲያሸንፉ ያግዛሉ።